专利名称：衬底处理装置用顶壁加热器专利类型：外观专利
申请号：CN201730070912.0申请日：20170313公开号：CN304250429S公开日：20170818
专利附图：
申请人：株式会社日立国际电气
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京市金杜律师事务所
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